ИК-Фурье спектрометр инфракрасный ИНФРАСПЕК ФСМ1201П (специализированный)

Наличие: Под заказ
Производитель: ИНФРАСПЕК

ID: 0135097

Наличие: Под заказ

Цена по запросу

Количество

Описание Характеристики Документация

ИК-Фурье спектрометр инфракрасный ИНФРАСПЕК ФСМ1201П (специализированный).

ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального фурье-спектрометра ФСМ 1201.

Он снабжён двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.

Основные контролируемые параметры:

Концентрация междуузельного кислорода;
Толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа n-n+ и p-p+;
Концентрация фосфора в слоях ФСС и бора/фосфора в слоях БФСС.

Преимущества:

Высокая чувствительность.
Рекордное в сравнении с обычными ИК спектрометрами отношение сигнал/шум позволяет на порядок снизить порог обнаружения контролируемых примесей и повысить точность определения концентрации.
Высокая производительность.
Время получения спектра при разрешениях и фотометрической точности, соответствующих требованиям стандартов, не превышает 15...20 сек. Это делает возможным сплошной контроль пластин и структур в процессе производства, а также позволяет исследовать неоднородность пластин измеряя распределения контролируемого параметра.
Достоверность анализа.
Анализ и идентификация спектров осуществляются автоматически с использованием библиотек стандартных спектров, включаемых в базу данных спектрометра.
Снижается вероятность субъективных ошибок оператора.
Бесконтактность измерений.
В процессе измерений отсутствуют механические воздействия на поверхность пластины.
Автоматизация измерений.

Процесс получения спектров, их обработка и контроль за перемещением пластины полностью автоматизированы. Маршрут перемещения выбирается из стандартных конфигураций (1, 5 и 9 точек) или задается оператором. Результаты измерений автоматически протоколируются и заносятся в базу данных.

Спектральное разрешение, см¹ 1, 2, 4
Диаметр светового пятна на образце, мм 6
Размеры пластин, мм 76, 100, 125, 150, 200
Точность позиционирования стола, мм 0,5
Время стандартного измерения в одной точке, сек 30...60
Потребляемая мощность, Вт 95
Размеры спектрометра, мм 670x650x250
Вес спектрометра, кг 37

Информация о технических характеристиках, комплекте поставки, стране-производителе и внешнем виде товара носит справочный характер и основана на актуальной информации, доступной на момент публикации.